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在高真空泵地區(qū)內(nèi),當(dāng)真空技術(shù)內(nèi)材料的出氣能夠忽視時(shí),真空室的抽氣計(jì)算時(shí)間與低真空泵抽氣計(jì)算時(shí)間同樣,因?yàn)楦邫C(jī)械泵泵效很大,這段時(shí)間很短。事實(shí)上高真空泵的抽氣時(shí)間關(guān)鍵在于材料出氣
在一開(kāi)始抽氣的幾十鐘頭內(nèi),材料出氣率是自變量,因此真空室的總出氣量隨抽氣時(shí)間而? 衰減系數(shù)。測(cè)算到達(dá)某一壓力需要的時(shí)間由總出氣量和泵(或發(fā)電機(jī)組)的合理泵效的比率決策般能用查材料出氣率曲線圖和制圖方式開(kāi)展測(cè)算
比如:測(cè)算抽中壓力p必須的抽氣時(shí)間流程以下。
①測(cè)算真空室均衡壓力為p時(shí)的出氣量Q,其值相當(dāng)于泵(或發(fā)電機(jī)組)在壓力為p時(shí)的排量,即
Q=pS(Pa·L/s)
②測(cè)算真空室中材料面積為A的均值氣速度q,即
q=Q/A[Pa·L/(s:cm2)]
③依據(jù)材料出氣率曲線圖,查出來(lái)q的點(diǎn),與此點(diǎn)相對(duì)性應(yīng)的時(shí)間,即是做到均衡壓時(shí)所必須的時(shí)間
測(cè)算舉
碳素鋼制做的真空室置放試驗(yàn)用銅錢,鋼和銅的總面積各為4×104cm2,用合理泵效為103L/s的高真空機(jī)抽氣時(shí),室內(nèi)溫度下需要得到 5×10-Pa必須是多少時(shí)間(漏汽能夠忽視)?
方式:①測(cè)算真空室的均衡壓力為5×10-4Pa時(shí)容許出氣量
Q=pS=5×10-4×103=5×10-(Pa·L/s)
②測(cè)算厚鋼板和銅錢二者的均值出氣率
Q5×10
A8×104? 6.25×10-6[Pa·L,(s·cm2)]=6.25×10-5[Pa·m3/(s
③作碳素鋼和銅錢二者累加后的均值出氣率曲線圖(圖3-10)。
①查趨勢(shì)圖3-10得:出氣率是6.25×106Pa·L/(s·cm2)時(shí)的出氣時(shí)間為0.4lh這一時(shí)間便是所愿的抽氣時(shí)間。
說(shuō)
①真空室僅有一種材料時(shí),不用作累加曲線圖,只用查出氣率曲線圖就可以
②當(dāng)材料類型許多 時(shí),可將出氣率不大(或總面積不大)的一些材料的出氣忽略

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只需要做幾類出氣率大的材料的出氣率的累加曲線圖,以使
測(cè)算簡(jiǎn)單化? ③當(dāng)材料總面積不一時(shí),可按材料總面積倍率作累加? 線,以上例中,倘若碳素鋼的面積為銅錢總面積的20倍? 碳素鋼出氣率則應(yīng)提升20倍,為此做出累加出氣率曲線圖? (3)幾類典型性真空值抽氣時(shí)間? 真空室內(nèi)壓力降至原始?jí)毫Φ?/2、1/10和? (e=2.718,1/c=0.368)的抽氣時(shí)間用下述計(jì)算公式
降至原始?jí)毫Φ?/2時(shí)的抽氣時(shí)間
V? 6)
降至原始?jí)毫Φ?/10時(shí)的抽氣時(shí)間
10=2.30三秒? (3-17)
圖3-10碳素鋼、銅錢及累加后
的出氣率曲線圖? 降至原始?jí)毫Φ?/e時(shí)的抽氣時(shí)間(稱之為穩(wěn)態(tài)值)? 1一碳素鋼的出氣率12一銅的出氣率
3一累加后的均值出氣率
式中V—真空室的容量,L;
S—泵(或發(fā)電機(jī)組)對(duì)真空室抽氣口的合理泵效,L/s