設(shè)計(jì)方案一套方便使用而又工作中靠譜的超濾裝置,選擇主泵是個(gè)至關(guān)重要的問(wèn)題。選擇主泵不可以只? 選泵及配泵? 追求完美某一項(xiàng)指標(biāo)值,務(wù)必依據(jù)應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)各個(gè)方面綜合性考慮到。超濾裝置選擇主泵的關(guān)鍵根據(jù)以下? ①滿載時(shí)真空室所必須做到的極限真空值? 依據(jù)真空室所必須創(chuàng)建的極限真空泵明確主泵的種類,選擇主泵的極限真空泵要比真空室的? 極限真空泵高,一般高一個(gè)半量級(jí)到一個(gè)量級(jí)? ②依據(jù)真空室開展加工工藝生產(chǎn)制造(或試驗(yàn))時(shí)需必須的壓力選主泵? 此項(xiàng)規(guī)定較為關(guān)鍵,因而規(guī)定可以把握主泵的較好抽速的工作壓力范疇,各種機(jī)械泵工作中壓? 力范疇及較好壓力。真空室的壓力一定要確保在主泵較好抽速工作壓力范疇內(nèi),所必須? 的主泵抽速由加工工藝生產(chǎn)制造中釋放的供氣量、系統(tǒng)軟件漏汽量及所必須壓力來(lái)明確。? 測(cè)算主泵的合理抽速? 依據(jù)真空室規(guī)定的壓力Pg,真空室的總氣體量Q,測(cè)算泵的合理抽速

Q(L/s)

(3-19)

式(319)中Q為真空室的總氣體量(Pa·L/s)。Q一般由三一部分構(gòu)成,即

(3-20? Q=Q1+Q2+Q3? 式中Q
真空室工作中全過(guò)程中造成的氣體量;? Q2真空室及真空泵元器件的放供氣量;? Q3真空室的總漏汽量? (2)明確主泵的抽速? 依據(jù)合理抽速S及其泵與真空室中間的聯(lián)接管路的流導(dǎo)U明確主泵的抽速Sp。由流? 串連公式計(jì)算有

SU

(3-20b)? 或是
由式(3-20a)由此可見(jiàn),為了更好地?cái)U(kuò)大合理抽速S務(wù)必?cái)U(kuò)大流導(dǎo)U,因此聯(lián)接管路要短而粗。管路? 直徑不可以低于主泵人口數(shù)量直徑,現(xiàn)階段各種各樣超濾裝置抽真空管路的直徑一般相當(dāng)于主泵通道直徑(獨(dú)特? 狀況可超過(guò)抽真空口的直徑,如:因?yàn)楣苈飞显O(shè)定冷阱,為擴(kuò)大流導(dǎo)而使管路部分字體加粗)。? 吃。在預(yù)估主泵合理抽速時(shí),一般將按式(3-19)測(cè)算出的主泵的合理抽速S擴(kuò)大20%~? %或更高? 這主要是無(wú)論是分子結(jié)構(gòu)流、黏滯流的流導(dǎo)計(jì)算方法全是在假設(shè)氣體流動(dòng)性理想化情況下,按穩(wěn)? 定的標(biāo)準(zhǔn)計(jì)算出去的,與具體的狀況有區(qū)別。因此,務(wù)必將測(cè)算出的合理抽速擴(kuò)大? 依據(jù)抽氣體類型、成份、溫度及其氣體含灰殘?jiān)鼱顩r選主泵,蒸氣流泵對(duì)不一樣類型氣體? 的基礎(chǔ)理論抽速詳細(xì)表36。

注:1.蒸汽流泵或超低溫吸咐泵、離子泵、渦輪增壓分子泵等對(duì)不一樣類型的被抽氣體具備不一樣的抽真空速度,它是因?yàn)檫@種? 氣體要被抽除時(shí),務(wù)必先根據(jù)氣體分子擴(kuò)散健身運(yùn)動(dòng)抵達(dá)所述泵的抽真空面(口),不一樣氣體分子結(jié)構(gòu)的平均速率不一樣,導(dǎo)致了泵的? 抽速的差別,這一差別有時(shí)候是非常大的,在超濾裝置選擇及配置主泵時(shí),務(wù)必考慮到這一要素,? 2表中值是依據(jù)擴(kuò)散泵抽速的基礎(chǔ)理論公式計(jì)算得到的數(shù)值? 式中S—擴(kuò)散泵為名抽速,m3/s? 被抽氣體分子結(jié)構(gòu)平均速率,m/s? —噴涌蒸汽分子結(jié)構(gòu)的平均速率,u一般取400M/s;? A—噴氣式飛機(jī)流的截面? 3.測(cè)算強(qiáng)調(diào):蒸汽流泵對(duì)相對(duì)性分子質(zhì)量小的氣體抽速大,對(duì)相對(duì)性分子質(zhì)量大的氣體抽速小,一般商品得出的抽速是? 對(duì)于氣體或N2的抽速。對(duì)低溫泵、分子泵、離子泵、吸咐泵等高線真空泵、極高真空泵手壓泵來(lái)講,他們的抽速也與被抽氣體? 分子結(jié)構(gòu)的平均速率相關(guān)。對(duì)N2的抽速SN2比應(yīng)是
依據(jù)真空室對(duì)油環(huán)境污染規(guī)定的不一樣,來(lái)挑選有機(jī)油、隔膜真空泵或半無(wú)油真空泵作主泵。? 依據(jù)項(xiàng)目投資及平時(shí)維護(hù)保養(yǎng)運(yùn)行的經(jīng)濟(jì)數(shù)據(jù)來(lái)挑選。? (3)前級(jí)泵的配備及抽速明確? 主泵選中以后,如何配置前級(jí)泵,需遵循的標(biāo)準(zhǔn)是? 規(guī)定前級(jí)泵導(dǎo)致主泵工作中需要的預(yù)真空泵標(biāo)準(zhǔn)? b.吸走主泵造成的較大 氣體量;? c.務(wù)必考慮主泵進(jìn)風(fēng)口能工作中的較大 工作壓力時(shí)所需的預(yù)擠時(shí)間規(guī)定。? 不一樣的主泵其前級(jí)泵配備各不相同,分述以下? ①蒸汽流泵前級(jí)配備該類泵包含油擴(kuò)散泵、油外擴(kuò)散噴射泵及其增擴(kuò)泵等。在主泵容許的? 較大 排氣管工作壓力下
及泵需將主泵造成的較大 氣體量立即吸走,即前級(jí)泵的合理抽速務(wù)必考慮

(3-21)? So>? 前級(jí)泵的合理抽速,L/s,先由S4來(lái)明確前級(jí)泵的抽速,隨后再依據(jù)該抽速? 式中S
選中泵的種類;? pn主泵前級(jí)的臨界值前級(jí)工作壓力,Pa;? Qmx—主泵能夠排出來(lái)的較大 氣體量,Pa·L/s;? 主泵容許的較大壓力,Pa? S—主泵工作中在p。時(shí)的合理抽速,L/s? 在挑選前級(jí)泵時(shí),應(yīng)當(dāng)留意真空泵的抽速是在大氣壓強(qiáng)下測(cè)出的,但一切正常應(yīng)用的泵全是? 在小于大氣壓力的標(biāo)準(zhǔn)下運(yùn)行,使梨的抽速降低了,因此務(wù)必依據(jù)抽速曲線圖來(lái)挑選系。若滑有? 抽速曲線圖,可參照經(jīng)驗(yàn)公式定律
式中Sp
具體采用的前級(jí)泵的抽速;? S—測(cè)算規(guī)定的前級(jí)泵抽速? ②羅茨真空泵配備骨架密封真空泵羅茨真空泵其前級(jí)配備骨架密封真空泵時(shí),前級(jí)泵的抽速由工作經(jīng)驗(yàn)公? 式明確,即

(3-23)? 式中S,—前級(jí)泵的抽速,L/s? 羅茨真空泵的抽速? 式中指數(shù)挑選,一般抽速大的羅茨真空泵取小值,抽速小的選較大值? ③羅茨真空泵以水環(huán)泵為前級(jí)羅茨真空泵-水環(huán)泵發(fā)電機(jī)組,水環(huán)泵抽速挑選依據(jù)工作經(jīng)驗(yàn)明確,即

SL? 式中S。水環(huán)泵的抽速,L/s;

(3-24)? SL——羅茨真空泵的抽速,L/s? ④羅茨真空泵串連發(fā)電機(jī)組羅茨真空泵串連發(fā)電機(jī)組,有二種配備方法:其一是羅茨真空泵羅茨真空泵-機(jī)械設(shè)備? 泵;其二是羅茨真空泵-羅茨真空泵水環(huán)泵。二種方法均是以一羅茨真空泵為主泵,而另一羅茨真空泵為前? 級(jí),兩羅茨真空泵抽速關(guān)聯(lián)由工作經(jīng)驗(yàn)明確,即

24? 式中S—前級(jí)羅茨真空泵抽速,L

25)? SL—主羅茨真空泵的抽速,L/s。
3.2真空泵系計(jì)? ⑤渦輪增壓分子泵前級(jí)配備渦輪增壓分子泵所配備的前級(jí)泵抽速,應(yīng)考慮

Sp>

(3-26)? L? 前級(jí)泵的抽速? 式中S
渦輪增壓分子泵前級(jí)工作壓力,一般為2Pa;? P
較大 總流量,渦輪增壓分子泵穩(wěn)定抽速范疇為10-1~10-7Pa,故較大 總流量Q=x值應(yīng)? Q
相當(dāng)于101Pa下的抽速與該工作壓力之積? (4)粗抽泵抽速明確? 各種各樣低溫泵、超低溫吸咐泵(沒(méi)有碳分子篩泵)、磁控濺射離子泵、鈦泵等均必須在某類預(yù)真空泵? 下才可以起動(dòng)。這時(shí),系統(tǒng)軟件需要預(yù)抽泵的抽速不但與真空室容量相關(guān),另外與所需定的預(yù)抽時(shí)? 間相關(guān)。預(yù)抽泵的抽速用上式測(cè)算

V
g? 3K? 式中
設(shè)置預(yù)擠時(shí)間? 力系統(tǒng)軟件中預(yù)真空泵工作壓力,Pa? 其他標(biāo)記同式(3-15)。? 針對(duì)大中型超濾裝置,用主泵配備的前級(jí)泵做為粗抽泵時(shí)不可取。由于有時(shí)候?yàn)榱烁玫販p少粗抽? 時(shí)間,前級(jí)泵需配備很大,長(zhǎng)期性運(yùn)作能耗很高,很不經(jīng)濟(jì)發(fā)展。因此,大中型系統(tǒng)軟件均裝有專用型的粗? 抽泵。其抽速測(cè)算同式(3-27)